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      鄭州四氟化碳-四氟化碳生產(chǎn)廠家-安徽譜純 純度高

      安徽譜純氣體科技有限公司
      • 經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工
      • 地址:合肥市經(jīng)開區(qū)翡翠路天時(shí)廣場二期2204室
      • 主營:氣體,特種氣體
      業(yè)務(wù)熱線:15755114169
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        鄭州四氟化碳-四氟化碳生產(chǎn)廠家-安徽譜純 純度高:
        合肥激光氣體,合肥特種氣體,安徽準(zhǔn)分子預(yù)混氣





        對于硅和二氧化硅體系,采用CF4-O2反應(yīng)離子刻蝕時(shí),通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,四氟化碳哪家好,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時(shí)很有用。產(chǎn)品經(jīng)除塵,堿洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等雜質(zhì)、再經(jīng)脫水可獲得含量約為85%的粗品。將粗品引入低溫精餾釜中進(jìn)行間歇粗餾,通過控制精餾溫度,除去O2、N2、H2,得到高純CF4。因?yàn)樗姆己退姆?硅都是共價(jià)化合物,然而碳氟鍵的鍵能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于硅氟鍵的鍵能,鍵長也是前者短得多,所以四氟化碳的熱穩(wěn)定性更好。





        四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量大的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽氧氣的混合體,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。





        四氟化碳在900℃時(shí),不與銅、鎳、鎢、鉬反應(yīng),僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時(shí),會分解產(chǎn)生有毒氟化物。以活性炭與氟為原料經(jīng)氟化反應(yīng)制備。在裝有活性炭的反應(yīng)爐中,緩緩?fù)ㄈ敫邼夥鷼猓姆脊荆⑼ㄟ^加熱器加熱、供氟速率和反應(yīng)爐冷卻控制反應(yīng)溫度。反應(yīng)放熱后,鄭州四氟化碳,氟開始和碳化硅進(jìn)行反應(yīng),通入等體積的干燥氮?dú)庖韵♂尫鷼猓狗磻?yīng)繼續(xù)進(jìn)行,生成氣體通過液氮冷卻的鎳制捕集器冷凝,然后慢慢地氣化。





        四氟化碳公司-鄭州四氟化碳-安徽譜純 純度高(查看)由安徽譜純氣體科技有限公司提供。安徽譜純氣體科技有限公司位于合肥市經(jīng)開區(qū)翡翠路天時(shí)廣場二期2204室。在市場經(jīng)濟(jì)的浪潮中拼博和發(fā)展,目前安徽譜純在工業(yè)氣體中享有良好的聲譽(yù)。安徽譜純?nèi)〉蒙堂苏J(rèn)證,我們的服務(wù)和管理水平也達(dá)到了一個(gè)新的高度。安徽譜純?nèi)w員工愿與各界有識之士共同發(fā)展,共創(chuàng)美好未來。
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